Passbiter målt ved interferometri
Instrumenter som kalibreres:
Passbiter 0,5 – 100 mm (evt. i tommer) i materiale stål eller hardmetall, grad K.
Måleområde
0,5 mm – 100 mm. (Evt. i tommer).
Måleusikkerhet
25 nm – 51 nm. Økende med lengden til passbiten.
Metode for kalibrering
Måleprinsippet er interferometri. Passbitene heftes til en referanseplate som utgjør den ene reflekterende flaten i interferometeret. Inteferensmønsteret over passbit og referanseplate måles for to laser bølgelengder, rød og grønn, og målingene kan benyttes til å beregne lengden til passbiten (avstanden fra senter av passbiten til flaten den er heftet til). Det er nødvendig å kjenne den nominelle lengden til passbiten innenfor 1 µm for å gjøre disse beregningene. Den nominelle lengden kan enkelt kontrollmåles ved komparering.
Kontaktpersoner: Helge Karlsson og Peter Hansrud-Kjær