Passbiter målt ved interferometri
Instrumenter som kalibreres:
Passbiter 0,5 – 100 mm
Stål, grad K og 00
Hardmetall, grad K og 00
Sporbarhetskart:
0,5 mm – 100 mm.
Måleusikkerhet:
27 nm – 57 nm. Økende med lengden av passbiten.
Metode for kalibrering:
Måleprinsippet er interferometri. Passbitene heftes til en referanseplate som utgjør den ene reflekterende flaten i interferometeret. Inteferensmønsteret over passbit og referanseplate måles for to laser bølgelengder, rød og grønn, og analyseres. Lengden av passbiten bestemmes med en oppløsning på 1 nm. Det er nødvendig å kjenne den nominelle lengden til passbiten innenfor 1 µm for å gjøre slike målinger. Den nominelle lengden kan kontrollmåles ved komparering.
Kontaktpersoner: Helge Karlsson og Peter Hansrud-Kjær
Sist endret 24. september 2015