Passbiter målt ved interferometri

Instrumenter som kalibreres:

Passbiter 0,5 – 100 mm

Stål, grad K og 00

Hardmetall, grad K og 00

Sporbarhetskart:

Måleområde:

0,5 mm – 100 mm.

Måleusikkerhet:

27 nm – 57 nm. Økende med lengden av passbiten.

Metode for kalibrering:

Måleprinsippet er interferometri. Passbitene heftes til en referanseplate som utgjør den ene reflekterende flaten i interferometeret. Inteferensmønsteret over passbit og referanseplate måles for to laser bølgelengder, rød og grønn, og analyseres. Lengden av passbiten bestemmes med en oppløsning på 1 nm. Det er nødvendig å kjenne den nominelle lengden til passbiten innenfor 1 µm for å gjøre slike målinger. Den nominelle lengden kan kontrollmåles ved komparering.

Kontaktpersoner: Helge Karlsson og Peter Hansrud-Kjær